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采购单位：***
联系人：***
联系电话：***-****
E-mail：***
传真：***
联系手机：***
邮编：***
-->一、基本信息
| 竞价编号：*******323834 | |
| 项目名称：*** | |
| 项目预算(元)：***,000.00 | 报价方式：*** |
| 采购单位：*** | 联系人：****** |
| 最少报价家数：*** | 联系电话：****** |
| 联系手机：****** | 电子邮箱：****** |
| 异议反馈：****** | |
| 开始时间：****-**-** 09:***:*** | 截止时间：****-**-** 09:***:*** |
二、资格条件
| 资格条件：***。 |
三、商务要求
| 付款方式：***%，验收合格后付剩下的70%。 |
| 交付时间：***。 |
| 交付地址：***区理5栋。 |
| 质保期及售后要求：***，需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后，若仪器发生问题，对相关的技术问题能在24小时内及时进行响应，供方可通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在1个工作日内仍不能解决问题，供方工程师应在其后48小时内赶到需方现场进行检修；若发生现场不能解决的问题，供方可将仪器（或故障部件）带回国内办事处进行处理，处理时间最长不超过15个工作日。质保期内，供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后，若仪器发生故障，供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内办事处进行修理，供方只收取相应的材料费。 |
| 其他要求：*** |
四、技术要求
| 1 | 共聚焦射频磁控溅射系统 | 1.00 | 台 | 微纳真空/VJC-300 Pro | 是 | 1.真空腔室：***Φ450 ×H450 mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ9 5mm，配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304无磁不锈钢材质；2.真空系统：***/ h，前级泵抽速不小于30 m3/ h，全量程数显复合真空计量程：***×105～1×10-5Pa； 3. ★真空极限：***.3 ×10-7 Torr；4.抽速：***.0 ×10-6 Torr≤ 15 min；5.基片台：***，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台旋转：***-25转/分连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：***，控温范围室温～400 °C；6. ★溅射靶及电源：***，靶面尺寸不小于φ60 mm，可调整角度不小于±50 °，可单靶轮流/双靶聚焦共溅射；直流电源不少于1台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源1台，频率13.56 MHz，要求自动匹配；7.靶挡板：***，角度与靶倾斜角度同步可调，要求磁流体密封；8.速率和膜厚监控：***，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.1 ā/s，厚度显示分辨率±1ā；9.气路系统：***，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；10.操控系统：***+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：***；11.辅件配置：***，制冷量不小于1P； |
五、附件
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