中山大学天琴中心非接触式轮廓仪采购项目中山大学2024年7月政府采购意向

A****光学测试仪器

非接触式轮廓仪，数量1套， 该设备用于：***。 技术要求：①采用非接触白光干涉垂直扫描技术，使用LED作为光源；能测量材料表面的粗糙度，三维形貌测试；配备≥1600×1200的CCD摄像头；②包含两种扫描模式CSI和PSI模式，全量程水平扫描范围：***-15mm，单次扫描完成，非拼接，扫描速度：≥170μm/s；全程扫描范围和条件下，RMS重复性：≤0.008nm；台阶测量重复性精度：≤0.1%@1σ，台阶测试精度：≤0.3%；③非接触白光干涉垂直扫描范围：***-120μm，单次压电陶瓷扫描；表面形貌重复性Ra≤0.08nm；具有软件抗震算法，在无气浮条件下也能满足上述扫描分辨率和性能要求；可测量超光滑表面，Ra测试精度≤0.1nm；可测量表面类型：***、不透明；镀膜、非镀膜；反射、低反射；④具有自动对焦功能，可一键寻找测量点并进行测量；样品台X，Y 二轴手动控制（tip/tilt），平移范围≥100mm；Z轴自动控制，Z轴行程≥100mm；样品台尺寸≥150mm；⑤菲索型光路，具备两种测试模式，适用于绝大多数检测环境：***相移干涉测量模式（共光路高精度抗震技术），RMS重复性 ≤ λ/ 10000（2σ）；RMS波前重复性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)；像素峰值偏差：< 0.5 nm，λ/1200 (99.5th %)；⑥干涉仪口径4英寸，光路结构：***；波长632.8nm, 可调谐激光器；输出功率>3mw；频率稳定度优于0.0001nm。 交付时间要求：***； 交付地点要求：***·深圳光明校区工学园26-HB1F-02； 售后服务要求（含培训） ：(1)免费整机保修2年，产品质量问题造成的故障需提供保修。(2)对设备管理人员和操作人员进行现场培训，包括了解设备结构、运行工作原理，掌握设备操作规程、设备保养方法、设备安装调试，掌握设备一般性故障的诊断、定位和排除方法。